Laboratoř speciální mikroskopie byla založena v r. 2024 jako pracoviště zastřešující sdílenou Laboratoř SEM FIB a Laboratoř mikrostrukturních analýz.
Laboratoř SEM-FIB vznikla s podporou projektu OP JAK Ph.D. Infra pro podporu výuky a excelentní výzkumné činnosti na doktorských materiálově orientovaných studijních programech napříč participujícími fakultami ČVUT. Zakládajícími členy sdílené laboratoře jsou Fakulta stavební, elektrotechnická a dopravní. V laboratoři probíhá výzkumná činnost, výuka a školení osob ze spolupracujících pracovišť, které jsou členy Laboratoře. Členové se podílí na provozu Laboratoře. Ostatní zájemci o služby Laboratoře z řad pracovníků a studentů ČVUT mohou zažádat o přístup do Laboratoře prostřednictvím Správce laboratoře v tzv. „open access“ režimu. Laboratoř je určena pro mikroanalýzu a detailní charakterizaci široké škály materiálů na mikroskopické úrovni. Hlavním přístrojem Laboratoře je vysokorozlišovací skenovací elektronový mikroskop kombinovaný s Xe-plasmovým fokusovaným iontovým svazkem, tzv. UHR FE-SEM a Xe Plasma FIB od společnosti TESCAN, https://www.tescan.com/product/fib-sem-for-materials-science-tescan-amber-x/. Přístroj kombinuje elektronový a iontový svazek s přesně sladěnými ohnisky, což umožňuje simultánní zobrazování povrchu vzorku během jeho opracování pomocí iontového svazku a výrazně zvyšuje přesnost a efektivitu analýz. Přístroj je dále vybaven detektory EDS a EBSD, které slouží k chemické analýze vzorků, identifikaci prvkového složení, detekci lokálních rozdílů v materiálu, informaci o krystalografické struktuře, orientaci zrn a fázovém složení materiálů. Systém podporuje FIB-SEM Tomography, včetně 3D zobrazování metodou “slice & view”, obsahuje též nano-manipulátor. Na vytvořených mikrostrukturách je možné provádět korelativní analýzy, včetně in-situ nanoindetace.
Laboratoř mikrostrukturních analýz je vybavena specializovanými přístroji pro pokročilé mechanické analýzy materiálů, včetně nanoindentoru Bruker-Hysitron pro detailní mikro-/nano-mechanickou charakterizaci a zařízení pro přípravu vzorků. Systém umožňuje měřit elastické, viskoelastické, plastické a lomové vlastnosti materiálu v objemech nm³-µm³, poskytovat mapování těchto vlastností z povrchu vzorku, provádět scratch testy a další analýzy. Vybrané analýzy je možné provádět i uvnitř komory SEM pomocí tzv. Hysitron Picoindentoru. Laboratoř je vybavena i jednoduchým mikroskopem atomárních sil, tzv. AFM, pro přesné skenování morfologie povrchu vzorku.